Виленская губерния образована 14 (25) декабря 1795 года после третьего раздела Речи Посполитой и присоединения к Российской империи западно-белорусских и литовских земель. Первоначально делилась на уезды:
С 8 (19) августа 1796 года по 12 (23) декабря 1796 года являлось Виленским наместничеством. В ходе административно-территориальных реформ Павла I по указу от 12 декабря 1796 года в 1797 году наместничество слито со Слонимским наместничеством в одну Литовскую губернию с губернским правлением в Вильне.